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什么是ISO14644-1 Class 7潔凈室標(biāo)準(zhǔn)?

2020-03-03 Delox

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級(jí)別,以確保完成對(duì)污染敏感的有關(guān)活動(dòng)。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品。

ISO14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法。

ISO14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)**指標(biāo)來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


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附:空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn):ISO14644-1(國際標(biāo)準(zhǔn))

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